下面我們來(lái)了解下VMS3020影像儀的誤差來(lái)源。

　　在VMS3020影像儀上的測(cè)量均是單軸或二維平面坐標(biāo)的測(cè)量，測(cè)量時(shí)先對(duì)焦，后對(duì)準(zhǔn)，再讀數(shù)(計(jì)數(shù))，后計(jì)算處理。讀數(shù)來(lái)自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng)，對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)，還有一個(gè)直接影響測(cè)量效果和精度的照明光源，因?yàn)?，基于影像方法測(cè)量的儀器，如果被測(cè)件不能被有效正確的照明，則測(cè)量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。

　　除上述因素外，環(huán)境條件也是制約測(cè)量精度不可忽視的因素。基于上述分析，可以歸納出VMS3020影像儀誤差來(lái)源于以下幾個(gè)方面：

　　1、光柵計(jì)數(shù)尺的誤差；

　　2、工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在的直線度、角擺帶來(lái)的誤差；

　　3、工作臺(tái)兩測(cè)量軸垂直度帶了的誤差；

　　4、顯微鏡光軸與工作臺(tái)面不垂直帶了的誤差；

　　5、測(cè)量室溫度帶來(lái)的誤差；

　　6、光源照明條件的變化帶來(lái)的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)誤差。

　　在這幾種因素中，前四項(xiàng)誤差，是硬件誤差，在儀器制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定下來(lái)。一般無(wú)法改變；溫度影響帶來(lái)的誤差，通過(guò)控制測(cè)量室的溫度和等溫過(guò)程來(lái)減小其影響。后一項(xiàng)則常被忽視，而在實(shí)際測(cè)量中，當(dāng)光源照明條件改變時(shí)，直接影響被測(cè)工件的照明效果和影像質(zhì)量，主要是因?yàn)閂MS3020影像儀的圖像是通過(guò)CCD接收，盡管CCD具有自動(dòng)調(diào)節(jié)增益的功能，但當(dāng)亮度過(guò)大時(shí)即失去調(diào)節(jié)功能，導(dǎo)致被測(cè)工件影像在縮小，當(dāng)亮度過(guò)低時(shí)，工件影像反而變大。